本科专业 微机电系统工程专业介绍及开设院校|机械类 专业代码080210T

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本科专业 微机电系统工程专业介绍及开设院校|机械类 微机电系统工程专业代码080210T 授予工学学位

微机电系统工程（Micro-Electro-Mechanical Systems Engineering）是中国普通高等学校本科专业。
本专业培养能面向微机电系统领域从事微纳制造工艺与装备研究、微纳器件系统开发、技术管理、设备运行与维护、经营管理等方面工作的高素质复合型创新人才。
微机电系统工程专业在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统技术方面的研究和发展打下了坚实的基础。本系在微纳米和微机电系统如微泵、微传感器、微加速度计等一系列微器件的设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面进行了深入的研究,其它的研究领域还有:微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术、小飞机、小卫星和微米卫星、纳米摩擦学以及光盘机读写头微型机构等。

微机电系统工程以机、电技术，尤其是微机械为基础，运用微电子技术和微加工技术，进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。例如：微泵、微传感器、微加速度计、小飞机、小卫星和微米卫星等。

微机电系统工程核心课程
工程制图、机械设计基础、工程材料及成型技术、机械制造技术基础、液压与气动、控制工程基础、机电传动与控制、单片机原理与接口技术、Python语言程序设计基础、微纳米新材料、机器视觉技术、微机械与微细加工技术、微机电系统设计、微纳米测量与测试技术。

微机电系统工程就业方向
毕业生可在集成电路制造、机械工程、精密仪器、微电子、医疗器械等行业和领域的研究院所、大中型企业、合资企业从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面工作。

考研方向
车辆工程、集成电路工程、精密仪器及机械、机械工程。

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。
微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。
常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。


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西北工业大学 / 机电学院 / 微机电系统工程专业介绍及培养方案

微机电系统工程专业

西北工业大学机电学院“微机电系统工程”专业2011年获教育部批准，2012年开始招生，2017年获批陕西省一流本科专业，2019年获批国家级一流本科专业建设点，2022年获评软科A+专业。本专业目前已成为我国微机电系统及纳米技术方向博士、硕士重要生源基地，培养的学生获得了国内外众多高校及就业单位认可。

微机电系统工程专业现有专任教师28人，其中教育部特聘教授2人、国家“万人计划”科技创新领军人才2人、国家级人才1人、国家优青1人、海外引进国家级青年人才3人。教授13人、副教授12人。形成了一支教育理念先进、教学水平精湛、师资实力雄厚、科研实力突出的科研育人团队。

微机电系统工程专业现有“空天微纳系统教育部重点实验室”、“陕西省微/纳米系统重点实验室”和“西北工业大学微/纳米系统研究中心”，并于2019年获陕西省“极端环境智能微系统国家重点实验室”培育。本专业实验室完成“985工程”一期、二期、三期和“211工程”建设，设备资产达1.2亿元，实验室面积4000平米（其中超净间面积900平米），形成了一条四/六英寸MEMS研发线，能够实现硅表面加工、湿法体硅加工、ICP深刻蚀、聚合物基微加工等多种典型工艺，可面向本科生开放。同时，实验室在西工大宁波研究院成立了“智能传感芯片技术研究中心”，建立了一条八英寸MEMS中试线，面积2400平米（其中超净间面积800平米），为实现科研项目产业化开辟了新的道路。

微机电系统工程专业在本科生人才培养方面遵循“以本为本”的育人理念，提出了“设计一颗芯片、制造一颗芯片、应用一颗芯片”的课程体系。让本科生能够进入超净间，亲身参与MEMS传感器芯片的设计、加工、测试及应用，并获得一颗属于自己的MEMS芯片，真正实现“做中学”的培养模式。专业提出的“创建微纳新兴交叉学科平台，培育拔尖创新人才”成果获2014年国家级教学成果一等奖。

微机电系统工程专业是我校“机械工程”双一流学科的重要支撑方向及“机械电子工程”国家重点学科的骨干专业。本专业作为我校MEMS方向“本-硕-博”一体化培养体系的核心，毕业生可在“微机电系统及纳米技术”、“集成电路科学与工程”、“仪器仪表工程”、“机械工程”等专业深造。

微机电系统工程专业与美国加州理工学院、德国弗莱堡大学、法国斯特拉斯堡大学、英国南安普顿大学等建立了良好学术合作关系，毕业生可在众多国际知名高校继续深造。同时，本专业毕业生也得到清华大学、北京大学等国内顶尖高校的高度认可。

学制/学位：本科四年制/工学学士


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